不論是對于人員工作環境的優化或者高精密設備的保護,進行減振隔振是非常有必要的。
在工程中,精密設備如電子顯微鏡和半導體/顯示器制造設備,通常應用隔振器進行振動隔離。隔振器從實現原理上分為兩類,一是被動隔振器,二是主動隔振器。被動隔振系統應用廣泛,被動隔離系統可以很簡單,比如振動泵下的橡膠腳,也可以更復雜,比如汽車上的減震器和支柱。相對的,主動隔振系統是具有高度專業化應用的復雜系統。理解這兩種系統在實施和性能上的差異對于做出合理的采購決策至關重要。
被動隔振系統由三個部分組成:一個質量(載荷)、一個彈簧(K)和一個阻尼器(C),它們起著簡諧振子的作用。質量和彈簧剛度決定了隔離系統的固有頻率。被動隔離系統相對便宜,并且在減少高頻振動方面表現出色。然而,它們的固有共振在某些低頻振動有問題的應用中是有問題的。除低頻共振外,被動隔振系統的穩定時間較長,控制難度較大。
主動隔振系統由集成了傳感器和作動器的反饋和前饋控制系統組成。這些系統將敏感的設備與被動隔離系統在共振頻率下放大的極低頻振動隔離。傳感器檢測所有六個自由度的傳入振動,數字控制器將測量到的振動數據處理成數字信號。然后控制器將信號發送給執行機構,執行機構通過產生相等的和相反的力來抵消振動。精密設備如電子顯微鏡和半導體/顯示器制造設備,通常使用主動隔振系統。
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